시노펙스, 국내 최초 반도체 공정용 15나노 AF필터 개발

반도체 케미컬용 15나노 AF필터

[뉴스런=김태현 기자] 시노펙스가 국내 최초로 15나노 AF필터 (All Fluoropolymer, 불소수지소재) 개발에 성공 31일부터 개최되는 세미콘코리아 2024 전시회에서 공개할 예정이다.

AF필터는 필터 케이스 및 내부 필터 전체를 PTFE 소재를 사용하며 반도체 생산공정에서 사용되는 불산, 황산, 질산 같은 강산과 200도 이상의 고온에서 견디면서 불순물을 제거하는 역할을 한다.

특히 AF필터에 사용되는 PTFE 소재는 미국 고어사에서 전 세계 시장을 과점 하고 있으며, 특히 국내에는 20나노 이하의 첨단 필터용 소재를 판매하지 않고 있어 20나노 이하급 필터에 대해 전량 수입에 의존하고 있는 상황이다.

시노펙스는 AF필터에 사용되는 PTFE 소재 국산화를 위해 △2019년부터 국책과제로 연구개발을 시작했으며 △2020년 ePTFE 소재 벤처기업인 프론텍 흡수합병 △2023년 3월에는 천안사업장에 10나노급 파일럿 시설을 갖추어 해외 글로벌 업체 수준의 R&D 역량을 확보했으며, 이번에 국내 처음으로 15나노 AF필터 개발에 성공했다.

시노펙스가 개발한 AF필터는 성인 머리카락 굵기의 약 6600분의 1인 15나노 기공 사이즈의 첨단 기술이 적용됐으며, 필터의 소재부터 외부 케이스까지 전체가 내화학성이 매우 높은 불소수지(Fluoropolymer) 소재로 제작됐다.

시노펙스 R&D 센터장인 석유민 박사는 “최근, 반도체 산업계에서는 10~20나노급의 고성능 필터가 사용되며, 최첨단 10나노급 이하의 반도체 생산을 위해서는 10나노급의 필터가 필수적으로 필요해 올해 중 10나노급 AF필터도 추가로 개발할 예정”이라며 “반도체 핵심 공정에 사용되는 필터의 공급망 안정을 위해 AF필터를 개발하게 됐으며, 현재 동탄사업장에 반도체용 나노급 제품 전용 생산라인을 자체 개발한 설비로 세팅하고 있다”고 밝혔다.

또한 “향후 2025년 이후로는 싱글 나노급 (10나노 이하급) 필터 기술 개발과 양산 적용을 동시에 진행해 현재 글로벌 필터 회사가 독점하고 있는 반도체용 케미컬 필터 시장을 대체해 나갈 계획”이라고 밝혔다.

시노펙스는 이번에 국내 최초 개발한 15나노 AF필터와 함께 총 8종의 반도체 산업에 사용되는 필터를 국내 최대 규모 반도체 산업 관련 전시인 ‘세미콘 코리아2004’(코엑스 1월31일~2월2일)에 출품한다.

‘세미콘 코리아’는 국제반도체장비재료협회(SEMI)가 주체하는 세계적인 반도체 산업관련 전시회로 시노펙스는 반도체 산업용 필터 솔루션을 적극적으로 마케팅 할 계획이다.

시노펙스는 첨단 반도체 공정에 사용되는 고성능 필터를 일반 가정용 제품에 적용한 ‘시노텍스 정수필터’도 함께 전시할 예정이며, 국내 최초 15나노 AF필터 개발을 기념해 2월 6일까지 특별 할인 이벤트도 함께 진행할 계획이다.

특히 시노펙스는 시노펙스 유튜브를 통해 30일 오후 5시부터 약 1시간 가량 15나노 AF필터 개발을 담당한 석유민 R&D 센터장이 직접 출연해 제품에 대한 설명과 함께 주주와 일반인 대상 Q&A를 실시간 라이브로 진행할 계획이다.

시노펙스가 국산화에 성공한 PTFE 소재는 반도체 생산 공정 외에도 바이오, 제약, 수소연료전지, 고청정 크린룸용 울파(ULPA) 필터, 인공혈관, 5G 통신케이블 등 다양한 산업분야에서 사용되고 있으며 글로벌 시장규모는 연간 약 3조원 이상으로 예상되고 있다.