[´º½º·±=ÃÖ½ÂÈ£ ±âÀÚ]
¿øÀ;ÆÀÌÇÇ¿¡½º(´ëÇ¥ÀÌ»ç:ÀÌÇö´ö)´Â PECVD ¼ºÀå ¹æ½Ä °øÁ¤°ú ¸ÖƼÆÐÅÍ´× ±â¼úÀÌ Àû¿ëµÈ ¹Ú¸· »ý¼º ¹× Àú¿Â ±â¼ú ÀÌ Àû¿ëµÈ GAA±â¼ú·Î 3nm ÆÄ¿îµå¸® Á¦Ç°ÀÇ ¾ç»êÀ» ÁøÇàÇÏ°í ÃâÇϽÄÀ» °¡Á³´Ù°í ±ÝÀÏ(09ÀÏ) ¹àÇû´Ù.
¿øÀ;ÆÀÌÇÇ¿¡½º ±â¼úÀÌ Àû¿ëµÇ¾î ù ¾ç»êµÈ GAA 3nm ÆÄ¿îµå¸® Á¦Ç°Àº »ï¼ºÀüÀÚ¿¡¼ ÁøÇàÇßÀ¸¸ç GAA¸¦ Àû¿ëÇÑ 3nm ÆÄ¿îµå¸® Á¦Ç°¿¡ ¼¼°è ù ¾ç»êÀ» ÃàÇÏ Çϱâ À§ÇÑ ÃâÇϽÄÀ» °³ÃÖÇϱ⵵ Çß´Ù.
À̹ø ÃâÇÏµÈ Á¦Ç°¿¡´Â ¿øÀ;ÆÀÌÇÇ¿¡½º(¿øÀÍIPS)ÀÇ GEMINI ¼³ºñ¸¦ È°¿ëÇÏ¿© PECVD ¹æ½ÄÀ¸·Î °³¹ßµÈ ½Å±Ô °øÁ¤ÀÌ Àû¿ëµÇ¾ú°í, ½Å±Ô °³¹ß¿¡ ¼º°øÇÑ °øÁ¤ ±â¼úÀº EUV °øÁ¤ µµÀÔ¿¡ µû¶ó ÇÊ¿äÇÑ ½Å±Ô ¹Ú¸·À» PECVD ¹æ½ÄÀ¸·Î ¼ºÀå½ÃÅ°´Â ±â¼ú, SADP(Self-Align Double Patterning)¹æ½Ä¿¡ ÀûÇÕÇÑ ¹Ú¸·À» »ý¼ºÇÏ´Â ±â¼ú ¹× Àú¿Â¿¡¼ Çϵ帶½ºÅ©ÀÇ °íÇ°ÁúÀ» À¯ÁöÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °øÁ¤ ±â¼úÀÌ Àû¿ëµÇ¾ú´Ù.
ÃÖ½ÂÈ£ ±âÀÚ news114@newsrun.co.kr
ÃÖ½ÂÈ£ ±âÀÚ news114@newsrun.co.kr
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ´º½º·±, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>